Метилсилан

Метилсилан
Общие
Систематическое наименование	Метилсилан
Хим. формула	CH3-SiH3
Рац. формула	СH6Si
Физические свойства
Молярная масса	46,14 г/моль
Плотность	газ 1,93 г/л 0,6277-57 г/см³
Термические свойства
Температура
• плавления	-156,8; -157 °C
• кипения	-57,5; -56,9 °C
Классификация
Рег. номер CAS	992-94-9
PubChem	70434
Рег. номер EINECS	213-598-5
SMILES	C[SiH3]
InChI	InChI=1S/CH6Si/c1-2/h1-2H3 UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N
ChemSpider	63613
Приведены данные для стандартных условий (25 °C, 100 кПа), если не указано иное.
Медиафайлы на Викискладе

Метилсилан — органическое соединение, алкилпроизводное моносилана, воспламеняющийся, бесцветный газ с неприятным запахом, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Получение

• Реакцией монохлорсилана с диметилцинком:

${\mathsf {2SiH_{3}Cl+Zn(CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow {}}\ 2CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+ZnCl_{2}}}$

• Восстановлением метилтрихлорсилана алюмогидридом лития:

${\mathsf {4CH_{3}{\text{-}}SiCl_{3}+3Li[AlH_{4}]\ {\xrightarrow {}}\ 4CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+3LiCl+3AlCl_{3}}}$

• Реакция диспропорционирования метилдиэтоксисилана:

${\mathsf {3CH_{3}{\text{-}}SiH(OCH_{2}CH_{3})_{2}\ {\xrightarrow {}}\ CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+2CH_{3}{\text{-}}Si(OCH_{2}CH_{3})_{3}}}$

Физические свойства

Метилсилан — бесцветный газ с неприятным запахом, воспламеняется на воздухе, нерастворимый в воде, растворимый в спирте и эфире.

Химические свойства

• Термическое разложение метилсилана используют для получения плёнок карбида кремния:

${\mathsf {CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}\ {\xrightarrow {T}}\ CSi+3H_{2}}}$

• Реагирует с галогенами:

${\mathsf {CH_{3}{\text{-}}SiH_{3}+Cl_{2}\ {\xrightarrow {}}\ CH_{3}{\text{-}}SiH_{2}Cl+HCl}}$

Применение

• Используется в качестве исходного сырья для газофазного осаждения карбида кремния при изготовлении композиционных материаллов, а также в процессе получения фоторезистов и других полупроводниковых материалов.

Литература

• Химическая энциклопедия / Редкол.: Кнунянц И.Л. и др.. — М.: Советская энциклопедия, 1990. — Т. 2. — 671 с. — ISBN 5-82270-035-5.